大学院工学研究科博士前期課程電子システム工学専攻の佐波陽平さんが「第17回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール」におけるポスター発表で優秀ポスター賞に選ばれました

2023年11月13日

大学院工学研究科博士前期課程電子システム工学専攻の佐波陽平さんが、2023年9月に行われた「第17回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール」におけるポスター発表で優秀ポスター賞に選ばれました。

本賞は、応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会が主催するインキュベーションホール（サマースクール）でのポスターセッションにおいて、優れた発表を行った学生に贈られる賞です。

発表内容について

受賞内容

賞の名称：優秀ポスター賞

受賞者名：佐波陽平（大学院工学研究科博士前期課程電子システム工学専攻）

発表題目：直列共振型メタマテリアル構造による高周波誘導結合型プラズマ生成の制御性向上

著者：佐波陽平、水富拓弥、濱野滉太、宮城茂幸、酒井道

発表内容

近年、半導体の需要が高まっており、半導体製造装置の性能向上が期待されています。半導体製造には高密度プラズマを利用しているため、このプラズマ生成を高効率化することで半導体製造の生産向上につながると考えられます。半導体製造装置のプラズマ源にはマイクロ波電力や高周波電力が利用されており、特に50～60MHzの周波数帯域ではプラズマ生成が高効率化することが知られています。しかし、数10MHzのプラズマには不均一部分が存在するため、30cmほどの半導体基板の加工をすると、チップ一つ一つで特性の異なる半導体ができ、生産効率が下がってしまう課題があります。本研究では電磁波に特異な応答を示すメタマテリアルを利用して、通常小電力の通信デバイスで用いられているコンセプトを数100W以上の大電力技術であるプラズマの制御に応用可能であることを実証し、高周波数帯域における均一なプラズマ生成の可能性を示しました。